Targedau aml-arc metelau purdeb uchel

Targedau crwn aml-arc metel ac aloi

1.Purdeb: 2N8,3N,3N5.4N,4N5,5N

2.Techinique ac Arwyneb: Gofannu, grinded, wyneb llachar shinny, HIP

3. Ffurf / Siâp: Cylchlythyr / planar / tiwbaidd / Rownd / Plât / Tiwb, Wedi'i wneud yn arbennig yn unol â'r llun

4.Size:

Diamedr crwn: 60 ~ 1000mm, trwch: 10 ~ 1500mm

Trwch plât (15 ~ 30) * lled (50 ~ 1500) * hyd (100 ~ 2000) mm

Tiwb OD: 20 ~ 300mm, trwch: 5 ~ 60mm, hyd: 50 ~ 2000mm

Cysylltiedig Arall

Fflat / Rownd purdeb uchel 99.99% i 99.995 deunydd targed metel Cromiwm Cr sputtering targed

Metel: Ti, Ni, Cu, Co, Cr, Al, Fe, V, Zn, Sn, W, Mo, Ta, Nb, Zr, Hf, Ge, Bi, Sb, Mg, Mn ac ati.

Targedau aloi metel: Mo, Zr, Ta, Nb, NbZr, Ni, Si, Sn, NiGr (8:2), NiGr (95:5), NiV, NiCu, NiCr, NiFe, TiAl, AlCr, SiAl, CoFe, Gellir addasu aloion arbennig CoCr, VFe, TiCr, TiV, NiTi, NbTi, WTi, WCu, SiGe, CoTaZr, CuNiMn ac ati.

Targedau Prin y Ddaear: Sc, Y, La, Ce, Gd, Tb, Dy, Nd, Sm, Er, Tm, Yb ac ati gellir addasu aloion eraill.

Metel Purdeb Uchel: Ni, Ti, Al, V, Co, Cu, Ta, Nb, W, Mo, Cr, Ag, Au ac ati.

Crwsibl Metel: W, Mo, Ta, Nb, Cu ac ati
Côn Metel: Ni, Ti, Co, Cr, Ta, Nb, W, Mo ac ati.

Cais

Mae targed yn cyfeirio at ffynhonnell sputtering a all sputter ffilmiau tenau swyddogaethol amrywiol ar swbstrad (gwydr, PET, ac ati) o dan amodau proses priodol trwy sputtering magnetron, platio ïon aml-arc, neu system cotio arall.

Mae'r system sputtering magnetron yn gosod magnet pwerus Gaussian y tu ôl i'r targed negyddol, ac mae'r siambr gwactod wedi'i llenwi â rhywfaint o nwy anadweithiol (Ar) fel cludwr rhyddhau. O dan weithred pwysedd uchel, mae atomau Ar yn ïoneiddio i ïonau Ar+ ac electronau, gan arwain at ollyngiad glow plasma. Yn ystod cyflymiad y hedfan i'r swbstrad, mae'r maes magnetig yn berpendicwlar i'r maes trydan yn effeithio ar yr electronau, sy'n gwyro'r electronau ac yn rhwym i'r wyneb ger y targed. Yn yr ardal plasma, mae'r electronau'n symud ymlaen ar hyd yr arwyneb targed mewn modd troellog, ac yn gwrthdaro'n gyson ag atomau Ar yn ystod y symudiad, gan ïoneiddio llawer iawn o ïonau Ar +. Ar ôl gwrthdrawiadau lluosog, mae egni'r electronau yn gostwng yn raddol, gan gael gwared ar y llinellau grym magnetig, ac yn olaf yn disgyn ar y swbstrad, wal fewnol y siambr gwactod, a'r ffynhonnell darged.

Tagiau poblogaidd: